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一种智能磁控溅射真空镀膜机的制作方法

作者: 来源: 发布于:2019-10-18 10:18:52
本实用新型属于镀膜机技术领域,具体涉及一种智能磁控溅射真空镀膜机。
 
 
背景技术:
 
智能化是制造自动化的发展方向,在制造过程的各个环节几乎都广泛应用人工智能技术。专家系统技术可以用于工程设计,工艺过程设计,生产调度,故障诊断等。也可以将神经网络和模糊控制技术等先进的计算机智能方法应用于产品配方,生产调度等,实现制造过程智能化。而人工智能技术尤其适合于解决特别复杂和不确定的问题。但是现有的大多数智能磁控溅射真空镀膜机由于结构上的缺陷,导致在其极靶方向不可调并且不能够匹配多种产品的镀膜需求。
 
技术实现要素:
 
针对上述背景技术所提出的问题,本实用新型的目的是:旨在提供一种智能磁控溅射真空镀膜机。
 
为实现上述技术目的,本实用新型采用的技术方案如下:
 
一种智能磁控溅射真空镀膜机,包括真空箱体,所述真空箱体连接有抽真空装置,所述空箱体铰接有箱门,所述箱门与箱体之间连接有锁紧结构,所述真空箱体内安装两组相对应的调节装置,所述调节装置包括两个安装座,所述安装座连接有第一丝杆和第二丝杆,所述安装座连接有两根直线导轨,所述第一丝杆和第二丝杆与安装座之间连接有第一滚动轴承,所述第一丝杆连接有第一旋转把手,所述第二丝杆连接有第二旋转把手,所述第一丝杆连接有第一螺母,所述第一螺母连接有第一直线轴承,所述第一直线轴承安装在直线导轨上,所述第二丝杆连接有第二螺母,所述第二螺母连接有第二直线轴承,所述第二直线轴承安装在直线导轨上,所述第一直线轴承和第二直线轴承的结构相同,所述第一直线轴承和第二直线轴承上侧均连接有连接板,所述连接板的上端连接有两根立杆,两根所述立杆之间连接有滑块,所述滑块上设有锁紧件,所述滑块设有螺纹孔,所述螺纹孔连接有丝杆,所述丝杆连接有旋转把手,所述丝杆连接有旋转盘,所述旋转盘连接有第一锁紧件,所述旋转盘连接有夹持板,所述夹持板铰接有夹板,所述夹板上设有条形通孔,所述条形通孔连接有螺杆,所述夹持板设有与螺杆相匹配的第一螺纹孔,所述螺杆外侧套设有弹簧,所述真空箱体安装有隔板,所述隔板中间设有镂空结构,所述隔板连接有电机,所述电机的动力输出端连接有转轴,所述转轴连接有转轴安装座,所述转轴安装座与转轴之间设有第二滚动轴承,所述转轴安装座安装有极靶座板,所述极靶座板安装有极靶。
 
采用本实用新型技术方案,可以通过第一旋转把手与第一丝杆的配合和第二旋转把手与第二丝杆的配合可以调节夹持板的前后位置,通过旋转把手和丝杆的配合调节夹持板的左右位置,通过旋转盘和第一锁紧件的配合调节夹持板的角度,通过滑块和锁紧件的配合调节夹持板的高度位置;这样就可以通过调节夹持板48夹持不同规格型号的镀膜产品;并且可以根据电机调节极靶的方向,从而可以更好的进行镀膜。
 
进一步限定,所述真空箱体的侧壁连接有支耳,所述支耳设有螺纹通孔,所述螺纹通孔连接有旋转螺杆,所述旋转螺杆上端连接有第三旋转把手,所述旋转螺杆的下端连接有第三滚动轴承,所述第三滚动轴承连接有支撑垫,这样的结构设计,可以更加方便调节真空箱体处于水平位置。
 
进一步限定,所述支耳连接有锁紧螺钉,这样的结构设计,可以使锁紧螺钉锁紧旋转螺杆,从而使得真空箱体的稳固性更好。
 
进一步限定,所述箱门设有观察窗口,这样的结构设计,可以更好的观察真空箱体内的情况。
 
进一步限定,所述第一旋转把手、第二旋转把手、旋转把手和第三旋转把手均为梅花型结构,这样的结构设计,可以在操作的时候更加方便、快捷。
 
附图说明
 
本实用新型可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明;
 
图1为本实用新型一种智能磁控溅射真空镀膜机实施例的结构示意图;
 
图2为图1中A处的放大结构示意图;
 
主要元件符号说明如下:
 
真空箱体1、箱门11、观察窗口12、安装座2、第一丝杆21、第二丝杆22、第一螺母23、第二螺母24、第一旋转把手25、第二旋转把手26、直线导轨3、第一直线轴承31、第二直线轴承32、连接板4、立杆41、滑块42、锁紧件43、丝杆44、旋转把手45、旋转盘46、第一锁紧件47、夹持板48、夹板49、条形通孔491、螺杆492、隔板5、电机51、转轴52、转轴安装座53、极靶座板54、镂空结构56、支耳6、旋转螺杆61、第三旋转把手62、第三滚动轴承63、支撑垫64、锁紧螺钉65。
 
具体实施方式
 
为了使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型,下面结合附图和实施例对本实用新型技术方案进一步说明。
 
如图1、图2所示,本实用新型的一种智能磁控溅射真空镀膜机,包括真空箱体1,真空箱体1连接有抽真空装置,空箱体1铰接有箱门11,箱门11与箱体1之间连接有锁紧结构,真空箱体1内安装两组相对应的调节装置,调节装置包括两个安装座2,安装座2连接有第一丝杆21和第二丝杆22,安装座2连接有两根直线导轨3,第一丝杆21和第二丝杆22与安装座2之间连接有第一滚动轴承,第一丝杆21连接有第一旋转把手25,第二丝杆22连接有第二旋转把手26,第一丝杆21连接有第一螺母23,第一螺母23连接有第一直线轴承31,第一直线轴承31安装在直线导轨3上,第二丝杆22连接有第二螺母24,第二螺母24连接有第二直线轴承32,第二直线轴承32安装在直线导轨3上,第一直线轴承31和第二直线轴承32的结构相同,第一直线轴承31和第二直线轴承32上侧均连接有连接板4,连接板4的上端连接有两根立杆41,两根立杆41之间连接有滑块42,滑块42上设有锁紧件43,滑块42设有螺纹孔,螺纹孔连接有丝杆44,丝杆44连接有旋转把手45,丝杆44连接有旋转盘46,旋转盘46连接有第一锁紧件47,旋转盘46连接有夹持板48,夹持板48铰接有夹板49,夹板49上设有条形通孔491,条形通孔491连接有螺杆492,夹持板48设有与螺杆492相匹配的第一螺纹孔,螺杆492外侧套设有弹簧,真空箱体1安装有隔板5,隔板5中间设有镂空结构56,隔板5连接有电机51,电机51的动力输出端连接有转轴52,转轴52连接有转轴安装座53,转轴安装座53与转轴52之间设有第二滚动轴承,转轴安装座53安装有极靶座板54,极靶座板54安装有极靶。
 
本实施例中,可以通过第一旋转把手25与第一丝杆21的配合和第二旋转把手26与第二丝杆22的配合可以调节夹持板48的前后位置,通过旋转把手45和丝杆44的配合调节夹持板48的左右位置,通过旋转盘46和第一锁紧件47的配合调节夹持板48的角度,通过滑块42和锁紧件43的配合调节夹持板48的高度位置;这样就可以通过调节夹持板48夹持不同规格型号的镀膜产品;并且可以根据电机51调节极靶的方向,从而可以更好的进行镀膜。
 
优选真空箱体1的侧壁连接有支耳6,支耳6设有螺纹通孔,螺纹通孔连接有旋转螺杆61,旋转螺杆61上端连接有第三旋转把手62,旋转螺杆61的下端连接有第三滚动轴承63,第三滚动轴承63连接有支撑垫64,这样的结构设计,可以更加方便调节真空箱体1处于水平位置。实际上,也可以根据具体情况考虑调节真空箱体1平衡的结构。
 
优选支耳6连接有锁紧螺钉65,这样的结构设计,可以使锁紧螺钉65锁紧旋转螺杆61,从而使得真空箱体1的稳固性更好。实际上,也可以根据具体情况考虑锁紧螺钉65的锁紧结构。
 
优选箱门11设有观察窗口12,这样的结构设计,可以更好的观察真空箱体1内的情况。实际上,也可以根据具体情况考虑箱门11的结构设计。
 
优选第一旋转把手25、第二旋转把手26、旋转把手45和第三旋转把手62均为梅花型结构,这样的结构设计,可以在操作的时候更加方便、快捷。实际上,也可以根据具体情况考虑第一旋转把手25、第二旋转把手26、旋转把手45和第三旋转把手62的结构型号。
 
上述实施例仅示例性说明本实用新型的原理及其功效,而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。


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