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真空镀膜机机构性能

作者:温州驰诚真空机械有限公司 来源:http://www.lflymy.com 发布于:2015-12-30 17:42:12

真空镀膜机机构性能
   
 分析现有光学真空镀膜机比较片机构在使用过程中存在的问题。根据现代光学真空镀膜机的发展趋势和实际生产中急需解决的问题,通过多方面的研究分析,优化设计新一代的镀膜机比较片结构,解决影响光学薄膜质量和超多层精密光学薄膜镀制的问题,以提高薄膜的监控精度,实现系统的自动控制,提高光学真空镀膜机生产效率,降低生产成本。使现代光学真空镀膜机的结构配置及使用效果达到最佳。
 从上世纪八十年代以来,全球光电科学技术发展与进步迅猛,我国研发光学真空镀膜机设备,在引进消化吸收的基础上,也迅速发展起来。最近二十多年,我国逐渐成为全球光学产品的加工基地,作为光学产品的关键工序,也是最后一道工序-- 镀膜,要求越来越高,真空镀膜机性能和配置也必然要得到加强,提高设备质量、完善设备性能、提高生产效率等问题就显现出来,这就涉及到此类设备的改造、设计研发,要求相关技术人员去解决。
 真空镀膜机比较片机构就是该类设备的必不可少的关键部件,高端配置的设备对比较片机构要求越来越高,真空技术网认为它对镀制多膜层的检测和生产效率有着重要的不可替代的作用。下面就真空镀膜机比较片机构在使用中的出现的问题,以及优化创新设计后的结构进行对比分析。
  1、现有真空镀膜机比较片机构
 通用的镀膜机比较片结构
 国内低端的真空镀膜机,从发展之初到近10年左右,大多还沿用的该比较片结构,如图1 所示。此比较片换位机构,通常由6 个独立的直径Φ22mm 的比较片组成,如图1(b)。该机构主要由1 个托盘16、三个支撑杆110 及1 个比较片盘18 组成,如图1(a),三个支撑杆110 对托盘16起固定、支撑的作用,比较片盘18 靠齿轮啮合把运动输入使之旋转拨片,三者配合就完成拨片换位动作。由于一般的镀膜机真空室直径尺寸都不大,整个机构的直径(Φ124mm)相比较就有些偏大,导致工件盘上可装载的镀制工件面积比较小,并且该机构只可放置6 个比较片13,直接影响生产效率。
 该结构的特点是:结构简单,加工制造方便,安装实施方便易行。缺点:该结构直径面积比较大,影响装载工件的数量;比价片放置数量少,降低了生产效率;强度和刚度有限,又由于该结构完全暴露在真空室内,真空室内高温溅射磨料的影响,使转动平稳性、灵活性一般,传动位置重复的一致性误差较大,清洗维护频繁。
真空镀膜机比较片机构性能和强度的优化设计

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